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美光估计,DRAM内存生产中每一个EUV层需要1.5-2套EUV光刻机,月产能可达10万片晶圆,CPU等逻辑芯片则需要一个EUV层对应一台EUV光刻机,月产能也仅有4.5万片晶圆。目前,台积电、三星已经开始在7nm工艺升级版上部分引入EUV,接下来的5nm上会全面部署,DRAM内存行业显然不会那么快。

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